Spannungsmessung von 4 kV bei 13,56 MHz

[Sebastian M. (semi2012)]

Hallo
ich suche nach einer Lösung eine Spannung von bis zu 4 kV bei und einer 
Frequenz von 13,56 MHz zu messen. Mich interessiert in erster Line der 
Effektivwert der Spannung. Das ganze soll mit einen analogen Eingang 
einer SPS oder alternative per AD Wandler eines MC gemessen werden.

Hat jemand einen Idee außer ein kapazitiven Spannungsteiler mit 
Gleichrichtung.

[Silvio K. (exh)]

Sebastian M. schrieb:
> Hat jemand einen Idee außer ein kapazitiven Spannungsteiler mit
> Gleichrichtung.

Vielleicht kapazitiver Spannungsteiler mit RMS-Detektor. Dein Vorhaben 
hat doch bestimmt etwas mit Plasma oder dielektrischer Erwärmung zu 
tun?!

> erster Line der Effektivwert
 in zweiter Linie die Phase in Bezug zu einem anderen Signal? Habe ich 
recht?

> 4 kV bei und einer
> Frequenz von 13,56 MHz

0V DC? oder ac + dc?

[Sebastian M. (semi2012)]

Dielecktirsch Erwärmung ist richtig. Also keine DC notwendig.

Ich heize dielektrisch Proben auf. Wenn ich aber Dreck(Kohlenstoff, 
Metallpartikel) an der Probe habe oder sie einen Fehler hat, bekomme ich 
manchmal Überschläge. Somit hat es wieder was mit Plasma zu tun, den bei 
einen solchen Überschlag(Plasma bildet Kurzschluss) werden die 
Elektroden recht stark beschädigt.
Ich will mit der Steuerung diesen Spannungseinbruch erkennen und den 
Generator abschalten damit das Plasma nicht unnötig weiterbrennt.
Gut wäre eine Möglichkeit das Zünden des Plasmas mit der Steuerung zu 
verhindern. (Konstruktiv habe ich schon einige Idee wofür ich aber eine 
neue Anlage brauch).

[Uhu Uhuhu (Gast)]

Bilder?

[Silvio K. (exh)]

Das Plasma ist bei diesen niedrigen Frequenzen noch schön nicht-linear 
im transienten Verhalten, d.h. es erzeugt Oberwellen. Vielleicht kannst 
du die Oberwelleninformation besser detektieren. Bei glühendem 
Kohlenstoff gilt das natürlich nicht.

gruß

Silvio



Bilder?

[... (Gast)]

Ein 40dB Richtkoppler...