REM Fotos von Halbleiterstrukturen

[Hmm, (Gast)]

Hallo,

vielleicht kennt einer von Rasterelektronenmikroskopbilder von 
Halbleiterstrukturen, wie z.B. bei chipworks.com . Da diese leider wegen 
Reverse Engineering Zwecken mehrere tausend USD kosten, wollte ich 
fragen ob jemand eine Seite kennt, die solche Bilder zeigt. Ich 
interessiere mich sehr für den tatsächlichen Aufbau der Halbleiter auf 
einem Die, habe aber im Internet dazu nichts gefunden.

Danke im Voraus

[Micha (Gast)]

Keine REM-Bilder, aber sehr hoch ausgelöst:
http://visual6502.org/

[Hmm, (Gast)]

Danke Micha!

[Harald W. (wilhelms)]

Hmm, schrieb:
> Hallo,
>
> vielleicht kennt einer von Rasterelektronenmikroskopbilder von
> Halbleiterstrukturen,

Solche Bilder habe ich schon selbst gemacht; sie sind aber nicht
sehr aussagekräftig, da man normalerweise nur die Oberfläche sieht.
Interessanter sehen da schon Aufnahmen mit dem Lichtmikroskop aus,
da man da ja durch das als Isolierung verwendete Siliziumdioxyd
hindurchsehen kann. Die Strukturen dürfen da aber nicht allzuklein
sein (typisch ICs der 70-er Jahre).
Gruss
Harald

[Hmm, (Gast)]

Ich habe Fotos von 20nm Floating Gates gesehen, wie machen die diese? 
Erst die Schichten über der eigentlichen Schicht wegätzen? Oder TEM?

[Harald W. (wilhelms)]

Hmm, schrieb:

> Ich habe Fotos von 20nm Floating Gates gesehen, wie machen die diese?
> Erst die Schichten über der eigentlichen Schicht wegätzen? Oder TEM?

Wäre beides möglich. Um die Flusssäure, die man zum Ätzen braucht,
habe ich aber immer einen großen Bogen gemacht.
Gruss
Harald