Schlitten im REM

[Hansi (Gast)]

Hallo zusammen,

ich war heute bei einem "Tag der offenen Tür" und konnte mir ein 
Rasterelektronenmikroskop aus der nähe ansehen. Nun wird Schlitten mit 
der Probe teilweise im µm Bereich bewegt, mich interessiert wie solch 
kleine Bewegungen so absolut genau durchgeführt werden. Vor Ort konnte 
mir das leider keiner sagen. Hat hier jemand eine Idee?
LG
hans

[Schlumpf (Gast)]

Getriebe?

[Hans Peter B. (Gast)]

Verschiebetisch mit µm-Spindel.
Hans Peter

[Reinhard Kern (Gast)]

Hallo,

Piezo-Antriebe funktionieren noch im nm-Bereich. Grobverstellung im 
µ-Bereich und auch noch darunter ist heute Standardtechnik in jeder 
Mechanikwerkstatt.

Gruss Reinhard

[Harald W. (wilhelms)]

Hansi schrieb:

> ich war heute bei einem "Tag der offenen Tür" und konnte mir ein
> Rasterelektronenmikroskop aus der nähe ansehen. Nun wird Schlitten mit
> der Probe teilweise im µm Bereich bewegt, mich interessiert wie solch
> kleine Bewegungen so absolut genau durchgeführt werden.

Mit so etwas ähnlichem wie eine Mikrometerschraube:
http://de.wikipedia.org/wiki/Mikrometerschraube

Die direkte Scanbewegung wird dann rein elektrisch gemacht, mit
Schaltungen, ähnlich wie man sie in Röhrenfernsehern hat. Die
horizontale Auflösung eine solchen Gerätes liegt in der Größen-
ordnung von einem Nanometer.
Gruss
Harald

[Jürgen S. (jurs)]

Hansi schrieb:
> ich war heute bei einem "Tag der offenen Tür" und konnte mir ein
> Rasterelektronenmikroskop aus der nähe ansehen. Nun wird Schlitten mit
> der Probe teilweise im µm Bereich bewegt, mich interessiert wie solch
> kleine Bewegungen so absolut genau durchgeführt werden. Vor Ort konnte
> mir das leider keiner sagen. Hat hier jemand eine Idee?

Verstellbewegungen im Mikrometerbereich?

Den Trick beherrscht doch bereits jede Mikrometerschraube oder auf 
Neusprech "Bügelmessschraube", die man für wenige Euro kaufen kann. 
Sowas wie hier:
http://www.imp-deutschland.de/cv/mess/bm_analog.htm

An einem REM gibt es wohl Bauteile, die eher High-Tech sind als ein 
mechanisches Feingetriebe.

[Sascha W. (arno_nyhm)]

Praktisch sieht das z.B. so aus:
http://thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=706

Die Thorlabs-Bauteile sind prinzipiell Vakuumtauglich, so bis 
~1x10^-6mbar, mit dem entsprechendem Schmiermittel. Wenn es ein ganz 
normales REM war, wird es höhere Anforderungen an das Vakuum in der 
Probenkammer haben - aber auch das ist kein Problem, andere Hersteller 
(z.B. Newport) haben vergleichbare X/Y(/Z)-Stages auch in UHV-tauglich. 
Manipuliert wird bei moderneren REMs wahrscheinlich mit im Vakuum 
sitzenden Schrittmotoren, bei älteren Geräten sind die Antriebe einfach 
mittels Achsen und hermetisch dichten Magnetkupplungen aus dem Vakuum 
auf Handräder zur Probenmanipulation geführt.

Die 'Basis-Bauteile' für derartige Mikro-Manipulationsaufgaben siehst Du 
hier:
http://thorlabs.com/navigation.cfm?guide_id=5