Forum: Mikrocontroller und Digitale Elektronik Abstandssensor bauen im µm- Bereich


von Benno668 (Gast)


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Hallo,

Ich suche nach einer Möglichkeit einen Abstandssensor zu bauen, der 
Bewegungen im Bereich von µm Aufzeichnet.
Wichtig ist auch, dass er schnell arbeiten muss, da die Bewegungen nur 
ca 0.5 ms andauern.

Meine Idee war, die Abstandsmessung auf Basis der Triangulation zu 
realisieren.

Leider hat, das sich bewegende Objekt, nur einen Durchmesser von 1mm.

Ich habe schon nach Lasern gesucht. Aber die haben alle einen 
durchmesser von 5mm.
Hat jemand einen Bauplan oder eine Idee wie ich das realisieren kann?

Vielen Dank schon mal,
Gruß
Benno668

von René D. (Firma: www.dossmatik.de) (dose)


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chromatischer Sensor

hier wird die Beugungsdifferenz unterschiedlicher Wellenlängen in einer 
Linse ausgenutzt

von Benno668 (Gast)


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Super Idee.

Ich werde mal schauen was ich da tun kann.

DANKE!!!
Ich werde meine Erfahrungen dann hier beschreiben.

von drumpf (Gast)


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Baue einen Kondensator auf, der Teils eines Oszillators wird. Aus den 
Frequenzänderungen lassen sich die Plattenabstände berechnen.

von Harald W. (wilhelms)


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Benno668 schrieb:

> Meine Idee war, die Abstandsmessung auf Basis der Triangulation zu
> realisieren.

Ja, damit kann man bis in den nm-Bereich hinein regeln. Das benutzt
man z.B. für AFMs. Nicht ganz so genau, aber auf Bruchteile von µm
regelt ein CD-Spieler. Der benutzte Laser muss natürlich passend
fokussiert werden.
Gruss
Harald

von Benno668 (Gast)


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>Baue einen Kondensator auf, der Teils eines Oszillators wird. Aus den
>Frequenzänderungen lassen sich die Plattenabstände berechnen.

Das klingt interessant. Kannst du das genauer beschreiben?

von Klaus Kaiser (Gast)


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Induktiv klappt das auch sehr gut. Und das gibts natürlich von diversen 
Herstellern auch schon fix und fertig zu kaufen.

von Markus R. (maggus)


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Hier noch ein Link zu dem, was René D. geschrieben hat:
http://de.wikipedia.org/wiki/Chromatisch-konfokale_Abstandsmessung
Vorteil: Schnell, genau, Kontaktlos.
Nachteil: Aufwändiger optischer Aufbau, teuer.

Ein kapazitiver oder induktiver Sensor wäre wirklich deutlich einfacher. 
Allerdings müsstest du dazu das Messobjekt mechanisch kontaktieren (wenn 
es nicht selber als Kondensatorplatte/Metallstab dienen kann).

Interferometrisch wäre noch eine Möglichkeit, wäre aber durch die nötige 
Optik auch recht teuer und aufwändig.

von Benno668 (Gast)


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Das Porblem was ich bei einem konfokalen Messen sehe ist, dass ich für 
verschiedene Abstände unterschiedliche Farben bekomme. Ich habe 
bedanken, was die Auslesegeschwindigkeit der Sensoren angeht. Immerhin 
arbeite ich dort im illisekunden wenn nicht sogar µs Bereich.

Dagegen finde ich die Triangulation eines CD-Players interessant. sollte 
es nicht möglich sein einen Laser auszubauen und für meine Zwecke zu 
nutzen?

Hat jemand erfahrung?

von Uwe (Gast)


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von Harald W. (wilhelms)


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Benno668 schrieb:

> Dagegen finde ich die Triangulation eines CD-Players interessant.

Es gibt auch fertige Meßgeräte nach diesem Prinzip. Grundsätzlich
wird dort auf einen exakten Abstand geregelt

> sollte es nicht möglich sein einen Laser auszubauen und für meine
> Zwecke zu nutzen?

Ich glaube nicht, das man das als Eigenkonstruktion so exakt
hinbekommt.

> Hat jemand erfahrung?


Ich habe viele Jahre Messungen im Mikro-, Nano- und Subnanometer-
Bereich gemacht. Allerdings mit Fertigmeßgeräten. Auch damit hat
man genug zu tun, das ganze exakt zu justieren.
Gruss
Harald

von Markus R. (maggus)


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Uwe schrieb:
> 
http://www.micro-epsilon.de/displacement-position-sensors/confocal-sensor/confocalDT_2405/index.html

Interessante Sensoren! Kann da jemand eine preisliche Hausnummer nennen?

Zum Problem:
Aus was für einem Material ist dein Messobjekt und welche Form hat es? 
Kannst du es mechanisch und/oder elektrisch kontaktieren?

von GB (Gast)


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von Henrik V. (henrik_v)


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Vibrometer sind nett, aber ersteinmal:
Wie sieht denn die Mess- und Referenzflächen(?) aus?
Welche Wünsche and Auflösung, Stabilität/Drift?

von René D. (Firma: www.dossmatik.de) (dose)


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GB schrieb:
> http://www.optomet.de/

Kann mir jemand erklären warum auf dem Laser doppler Vibrometer ein 
Fernrohr drauf ist?
Ist es so schwer den Laser zu platzieren? Ich sehe duch auf dem 
Messobjekt den Laserpunkt.

Sind schon einige Varianten gekommen, es häht auch von den 
Eingenschaften deines Objektes ab. Welches Verfahren am besten geeignet 
ist.

Es gab auch mal jemanden der musst die Geschindigkeit von so einem 
Objekt bestimmen. Der hatte einen farbigen Imagesensor benutzt und mit 
einem Roten, Blauen und Grünen Blitz zeitlich versetzt Lichtimpulse 
ausgesendet.
Und danach den Sensor aus gelesen.
Strobskoseffekt.
Dann hast du die Position zum Zeitpunkt des Blitzes erfasst. Vielleicht 
reicht das dir als Korrelationsgröße.

von René D. (Firma: www.dossmatik.de) (dose)


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> Dagegen finde ich die Triangulation eines CD-Players interessant. sollte
> es nicht möglich sein einen Laser auszubauen und für meine Zwecke zu
> nutzen?
>
> Hat jemand erfahrung?
Geht nur auf einer Ebene.

Ist dein Objekt eben oder hat es eine runde Form?

von Gerald G. (Gast)


Angehängte Dateien:

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Bei uns in der AFM Gruppe wird das wie im angehängten Bild gelöst.
Der Cantilever (das Teil auf den der Laser leuchtet) bewegt sich und 
ändert dadurch den Winkel vom Lichtstrahl. Der Laser trifft auf eine 
Viersegmentphotodiode. Verschiebt sich der Lichtstrahl, ändern sich die 
Spannungen der einzelnen Segmenten.
Für eine einfache Abstandsmessung reicht eine zweisegmentphotodiode, ein 
Spiegel (oder etwas reflektierendes) und eben ein Laser. Der Laser wird 
leicht schräg auf den Spiegel gerichtet, und die diode solange 
verschoben (mikrometerschraube mit Feder) bis die Spannung bei beiden 
Segmenten gleich ist. (Hier ist einmal die Summe interessant (wieviel 
Laser ist auf der Diode) und einmal die Differenz (wie weit ist der 
Laser verschoben)
Wird nun der Spiegel (oder das Ojekt andem der Spiegel ist) weiter weg 
geschoben, verschiebt sich der laser am Spiegel um Abstand*sin(alpha), 
bei der Diode also um 2 mal a*sin(alpha). hierdurch entsteht eine 
differenz in der Spannung. Einmal kalibriert geht das auf nm genau. Wir 
arbeiten mit 100kHz ADC, funktioniert einwandfrei.
Laser kostet um die 100€ (z.b. lasercomponents, die geben auf 10cm einen 
durchmesser von unter 80µm an (nachgefragt)
spiegel ist umsonst wahrscheinlich. Photodiode umd die 30€ (edmund 
optics).
Danach nur noch Signalverarbeitung (OPV, extra ADC oder der im µC) für 
ein paar €.
Probleme gibts dann, wenn Dreck im Spiel ist, ansonsten läuft das.

von Lukas P. (lks)


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Moin,

schau dir mal den ldc1000 von TI an. Den kann man für induktive 
Abstandsmessung benutzen. Hier stellt TI den vor und zeigt ein bisschen 
was: http://www.youtube.com/watch?v=ve7cfYcTUaM

Grüße

von Harald W. (wilhelms)


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Gerald G. schrieb:
> Bei uns in der AFM Gruppe wird das wie im angehängten Bild gelöst.

Neben dem hier beschriebenen Verfahren gibts noch die Möglichkeit,
mit einem Faserinterferrometer den Abstand zu messen.

> spiegel ist umsonst wahrscheinlich.

Es muss aber ein Oberfläcchenspiegel sein. Ein Taschenspiegel, bei
dem die Spiegelfläche hinter Glas liegt, ist nicht geeignet.
Gruss
Harald

von Bingoo (Gast)


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von Benno668 (Gast)


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Danke für die vielen Ideen.

Ich versuche jetzt erst mal was umzusetzen und werde mich melden, wenn 
ich Ergebnisse habe.

Gruß

von GB (Gast)


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René D. schrieb:
> Kann mir jemand erklären warum auf dem Laser doppler Vibrometer ein
> Fernrohr drauf ist?
> Ist es so schwer den Laser zu platzieren? Ich sehe duch auf dem
> Messobjekt den Laserpunkt.

Abhängig vom verwendeten Objektiv kannst Du auch mehr als 100m vom 
Messobjekt entfernt sein...

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