Hallo Leute, im Folgenden Text.... http://www.cerobear.de/fileadmin/images_3/Prospekte/CEROBEAR_Waelzlager_fuer_die_Vakuum_und_Halbleiterindustrie.pdf ... geht es um ein Wälzlager für Vakuum. Da entnehme ich folgenden Satz: Die geforderten exakten Positionierungen bei der Wafer Handhabung stellen hohe Anforderungen an die Steifigkeit der Lagerung. (Seite 2) Wie ist dieser Satz zu verstehen? Was macht die Steifigkeit bzw. was ist eine hohe Steifigkeit für die exakte Posit. notwendig bzw. warum hohe Anforderung an die Steifigkeit der Lagerung? Vielen Dank
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zipp schrieb: > Die Durchbiegung sollte klein gegenueber den Strukturen sein Hmm, das versteh ich leider nicht ganz, geht das vll. etwas genauer bitte?
Josef schrieb: > Hallo Leute, im Folgenden Text.... > > http://www.cerobear.de/fileadmin/images_3/Prospekt... > > ... geht es um ein Wälzlager für Vakuum. > > Da entnehme ich folgenden Satz: > > Die geforderten exakten Positionierungen bei der Wafer Handhabung > stellen hohe Anforderungen an die Steifigkeit der Lagerung. (Seite 2) > > Wie ist dieser Satz zu verstehen? Was macht die Steifigkeit bzw. was ist > eine hohe Steifigkeit für die exakte Posit. notwendig bzw. warum hohe > Anforderung an die Steifigkeit der Lagerung? > > Vielen Dank Steifigkeit ist ein Maß für die Verschiebung durch eine Kraft, z.B. N pro mm Verschiebung. Da beim Positionieren eines Tisches Reibungskräfte in willkürlicher Richtung auftreten, wird durch diese Kräfte das Erreichen der Position in willkürlicher Richtung gestört. Der elastische Teil der Lagerung darf daher nicht im Geringsten federn. (müssen also hohen Wert der N/mm Verschiebung haben) Veranschaulichung anhand eines Drehspulinstruments würde besser gelingen: Die Reibung lässt den Zeiger mit einem gewissen Streubereich seine Sollposition erreichen (z.B. den Nullpunkt) Bei hochempfindlichen Instrumenten (- zig µA Vollausschlag)sieht man auch, dass nach Bewegung der Zeiger nur in einem sichtbaren Streubereich landet. Hat das Drehspulsystem aber eine recht steife Feder (und damit geringe Empfindlichkeit) ist der durch Reibung erzeugte Streubereich der Position wesentlich kleiner. Deswegen waren Drehspulmessgeräte der Genauigkeitsklassen 0,2 0der 0,1 wahre Stromfresser mit 50 oder gar 100mA Strom bei Vollausschlag. 50µA- Drehspulinsrumente haben, durch die recht schwache Feder einen sichtbaren Streubereich der Anzeigeposition und erreichen kaum die Genauigkeitsklassen 1% oder 2%
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Peter R. schrieb: > Veranschaulichung anhand eines Drehspulinstruments würde besser > gelingen: Die Reibung lässt den Zeiger mit einem gewissen Streubereich > seine Sollposition erreichen (z.B. den Nullpunkt) Bei hochempfindlichen > Instrumenten (- zig µA Vollausschlag)sieht man auch, dass nach Bewegung > der Zeiger nur in einem sichtbaren Streubereich landet. Hat das > Drehspulsystem aber eine recht steife Feder (und damit geringe > Empfindlichkeit) ist der durch Reibung erzeugte Streubereich der > Position wesentlich kleiner. Deshalb hatten Drehspulinstrumente mit <=50µA auch eine reibfreie (Bändchen-)Lagerung. :-) Grundsätzlich gilt: Je genauer eine(Meß-)maschine sein soll, desto stabiler und schwerer wird sie gebaut. Wenn man einige Zeit im Präzisionsbereich gearbeitet hat, sieht man meist schon auf den ersten Blick, ob ein Messaufbau so funktionieren wird oder nicht. Gruss Harald
Josef schrieb: > zipp schrieb: >> Die Durchbiegung sollte klein gegenueber den Strukturen sein > > Hmm, das versteh ich leider nicht ganz, geht das vll. etwas genauer > bitte? Wer das noch genauer braucht, ist entweder ein Alien oder ein Roboter. Ein bisschen Weltwissen braucht man dann schon um was zu verstehen. Steifigkeit sollte Dir sehr wahrscheinlich aus anderen Zusammenhängen bekannt sein. Da denkst Du jetzt mal ganz in Ruhe drüber nach. Oder stelle halt Deine Frage präziser.
Stell Dir vor, ein Positionierungstisch würde federnd gelagert sein und ein Betätigungsarm würde mit einer Messspitze drauf hin und her fahren. Die Messspitze käme nie auf präzise Position, da ja der Tisch federnd ausweichen würde. Es gilt daher: Bei Präzision darf nichts federn, sonst weicht es aus. Die Steifigkeit ist Kehrwert zur Weichheit der Federn. Große Steifigkeit = geringes Ausweichen.
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